對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。
氣體滲透性
不同材料對氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到，對于輸送ppm級及更高純度要求的氣體，從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管，如果我們不恰當地選用了不符合要求的管道材料，那么，無論我們采取什么凈化手段，都將是無濟于事的。
出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體輸送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
吸附性

由于水分等雜質是極性分子，吸附性很強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質，銅材對水吸附性極強，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。
抗腐蝕性

微電子生產中，經常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發生安全事故。